产品说明

产品功能：
1.适用于清洗2 inch、4inch、6inch蓝宝石衬底晶片。
2.采用先进蚀刻工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性。
3.设置自动烘干系统。
4.全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳，机械臂定位精度高。
5.管路系统、电器控制系统、伺服电机及丝杆导轨的关键性核心部件均采用进口标准产品，配置模组化，维护方便快捷。